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石英衬底
内部缺陷脉理 & 划痕
硅晶片
凹坑&划痕
石英衬底 抛光痕迹
该系统结合了独特的光学成像和图像处理技术。
我们可以捕获人眼难以识别的缺陷图像
产品特性:
反射+透射检查
宽视野范围：*大 136 mm
放大功能 : 从宏观到微观的检验
表面/ 内部缺陷可视化检查
聚焦范围广
通过ED处理我们可以得到更清晰的图像！
应用领域：
晶圆，薄膜，玻璃，石英，蓝宝石等
缺陷检查 :
表面缺陷，例如划痕，凹陷， 水印, 抛光不匀
裂纹检查 , 薄膜不均匀
内部缺陷，例如脉理检查等
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硬件 |
主体单元 |
高分辨率 微距镜头, 数码CMOS相机 |
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特殊光源, 精微倾斜台 |
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PC 单元 |
Windows10 , 显示器，键盘，鼠标 |
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检测方法 |
反射用于表面检查 / 透射用于内部检查 |
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相机 |
分辨率 |
CMOS 2/3英寸, 2448 x 2048, 5M 像素 |
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帧数率 |
35帧/s ( *大)， 图像 (BMP, JPG) 视频(MPG) |
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视野范围（光学） |
焦距70 mm～300 mm |
约 136 mm x 115 mm～34 mm x 28 mm |
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光源 |
白色 LED ( 标准, 3W） |
寿命约25000 h ( 取决于使用情况) 0-8步可调 |
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图像处理 |
独特的图像处理软件，采用多个图像数据 |
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自动ED处理 |
5相步进电机 |
Focus unit is controlled by PC |
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尺寸 / 重量 |
300 (W) x 470 (D) x990 (H) mm / 约 40 kg |
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如需更新软件或硬件，请联系我们。
